線光譜共焦傳感器
埃科線光譜共焦傳感器SG系列,基于同軸式光譜共聚焦技術開發而成,提供高達37KHz掃描速度,最大測量視野20.4mm,X方向分辨率可達1.875um,Z方向重復精度可達50nm,具有高精度、高速度、多功能、無接觸在線檢測等優勢。

產品特征

  • 高速高分辨率檢測

    輪廓數據數量最高4096個,點間隔小,X軸輪廓數據間隔可達1.875μm,精確捕捉微小細節,輕松實現高分辨率3D在線檢測;高達37kHz的掃描速度(全量程掃描速率最高8.2kHz),可應用于復雜且大量的高速掃描場景。

  • 大量程大視野

    最大測量視野20.4mm,是市面同類產品的2倍;Z軸測量范圍可達7mm,能夠覆蓋較大高度變化,減少掃描次數,提升檢測效率。

  • 出色兼容角度

    提供出色的兼容角度(最大鏡面兼容角度±50°),能夠應對深孔、縫隙、彎曲等復雜形貌的表面檢測。


  • 強材質適應性

    傳感器采用同軸光學設計,實現非接觸式測量,檢測敏感元件不會造成應力損傷,且具有強材質適應性,不受材質、形狀和反光的影響,可檢測鏡面、曲面、透明材料等。

高速高分辨率檢測
大量程大視野
出色兼容角度
強材質適應性

應用案例

埃科線光譜共焦傳感器SG系列不受材質、形狀和反光的影響,對于深孔、縫隙、彎曲、透明等多種形貌或材質的表面測量有著高度的適應性,全量程都可保持高精度及高橫向分辨率,廣泛適用于半導體、消費電子、PCB、動力電池等多個精密制造領域。

產品規格

型號 SG4050SG4025SG1007SG1110
輪廓線點數 4096409612801280
掃描速率 4.4~18kHz4.4~18kHz8.2~37kHz7.3~37kHz
X軸輪廓數據間隔 5μm2.5μm1.875μm9.3μm
Z軸線性度(單點) ±4μm±1μm±0.25μm±4μm
Z軸重復精度(鏡面) 0.5μm0.25μm0.05μm1μm
安裝凈距離 45.9mm24mm6.7mm39.3mm
Z軸測量范圍 5mm2.5mm0.7mm7mm
視野 20.4mm10.2mm2.4mm11.9mm
最大兼容角度 ±15°±30°±50°±12°
尺寸 183.5mm x 455.7mm x 85.5mm183.5mm x 475.1mm x 85.5mm365mm x 438.6mm x 99mm365mm x 342.1mm x 99mm
重量 8.4KG9.3KG13KG12KG
數據接口 GigE Vision(2.5G及以上)
輸入輸出 1路差分編碼器輸入;1路可編程輸入;1路可編程輸出
整機功率 80W±5%80W±5%65W±5%65W±5%
電源 DC 24V±10%
接口類型 信號接口:M12 Xcode 8芯 GigE Vision;電源接口:M12 Acode 17芯
防護等級(EN 60529) IP55
工作溫度 15℃~35℃
環境濕度 20%~85% RH(無冷凝)

產品尺寸圖

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